精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会秋季大会
セッションID: K22
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精密・超精密位置決め(4)
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
基礎実験と考察
*深田 茂生福井 大幹鷲野 裕樹本橋 茂之福岡 万貴
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抄録
 本研究は,1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を,差動ボールねじを用いて実現することを目的とする.本報では,前報で試作したプロトタイプの実験装置を用いて,ステージの巨視的送り誤差と微視的挙動を測定し,実際の変位と理論値とを比較して基礎的検討を行っている.また,プロトタイプで明らかになった問題点に対する対策を施した新たな機構を試作し,その基本性能を実験的に評価する.
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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