大阪大学基礎工学部
1993 年 62 巻 5 号 p. 471-474
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酸化物高温超伝導体エピタキシャル超薄膜における電界効果が実験的,理論的に研究されるようになった.高温超伝導体の特徴的な物性値“低キャリア密度と短コヒーレンス長”が基盤にある.金属/前兆型強誘電絶縁体/高温超伝導体積層構造で構成するMlSFETが作製され,チャネル電流の電界変調により超伝導電界効果が確認された.光および電子線誘起短絡MlS接合電流測定が可能になり,MIS界面の評価研究に一段と加速がついた.
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