真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成
辻 博司, 岡山 芳央, 豊田 啓孝, 後藤 康仁, 石川 順三
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1995 年 38 巻 3 号 p. 218-220

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