真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
微細周期構造にイオン注入したときの素子帯電のシミュレーション
酒井 滋樹辻 博司後藤 康仁豊田 啓孝石川 順三丹上 正安松田 耕自
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1995 年 38 巻 3 号 p. 228-230

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