化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第74年会
セッションID: A120
会議情報

主催: 社団法人　化学工学会

エレクトロニクス
ダイヤモンドライクカーボン膜による強誘電体の劣化抑制効果
*和泉 要, 廣田 祐一郎, 岡本 尚樹, 齊藤 丈？i, 近藤 和夫, 吉村 武, 藤村 紀文
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キーワード: ferroelectric, diamond like carbon, CVD
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© 2009 社団法人　化学工学会
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