日本液晶学会討論会講演予稿集
Online ISSN : 2432-5988
Print ISSN : 1880-3490
ISSN-L : 1880-3490
2004年 日本液晶学会討論会
セッションID: PB22
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真空紫外光照射によるメソポーラスシリカ薄膜のフォトパターニング
*小島 智之穂積 篤永野 修作関 隆広
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抄録

高分子テンプレートを用いたメソポーラスシリカ前駆体薄膜に、真空紫外光(172 nm)によるパターニングを行い、光分解されたメソポーラス部とテンプレートの残った有機_-_無機ハイブリッド部のマイクロパターンを形成した。また、そのメソポーラス部への色素の染色も試みた。

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© 2004 日本液晶学会
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