精密工学会学術講演会講演論文集
2008年度精密工学会秋季大会
セッションID: E15
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高温酸化処理が及ぼすTiN-MoS2複合膜の機械的特性への影響
*鈴木 敬之介神崎 昌郎
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抄録

工具や機械部品に広く用いられている窒化チタン膜に対し,層状物質である二硫化モリブデンを添加したTiN-MoS2複合膜は優れた低摩擦特性を示した.しかし,高温では複合膜の酸化による機械的特性の低下が懸念される.そこで,複合膜に高温酸化処理を行い,機械的特性に及ぼす影響を調べた.その結果,MoS2含有量の少ない複合膜においては高温酸化処理後による硬度,密着力,耐摩耗性の低下が小さかった.

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© 2008 公益社団法人 精密工学会
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