主催: 公益社団法人精密工学会
埼玉大 理工学研究科
東京工大 理工学研究科
著者所属：埼玉大 理工学研究科 埼玉大 理工学研究科
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弾性表面波リニアモータは薄型・高出力などの特長を持った超音波モータである。摩擦駆動という原理の性質上、摩擦駆動面において摩耗が問題となる。これまでに摩耗の改善のために耐摩耗材料であるセグメント構造DLC膜が導入されてきた。しかし、DLC膜のセグメントの形状が問題となり、駆動特性が低下した。そこで、本報では駆動特性を向上させるために新たなセグメント構造DLC膜の成膜方法を提案した。
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