静電容量検出による浮揚機構の浮上量推定

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: B24

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主催: 公益社団法人精密工学会

静電容量検出による浮揚機構の浮上量推定

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抄録

本研究室ではスクイーズ膜効果を用いた浮上型ロボットを製作し、変位センサを用いてロボットの浮上量を測定してきた。しかし、ロボット構造が複雑になると変位センサによる測定が困難となる。そこで、筆者らは浮上機構と動作基板間の静電容量を測定し浮上量の推定を試みる。