パルスプラズマCVD法により成膜したDLC膜のマクロ欠陥検出

櫻田 悠一; 高島 舞; 赤坂 大樹; 岩本 喜直; 松尾 誠; 大竹 尚登

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.315.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: E06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.315.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

パルスプラズマCVD法により成膜したDLC膜のマクロ欠陥検出

*櫻田悠一, 高島舞, 赤坂大樹, 岩本喜直, 松尾誠, 大竹尚登

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キーワード: ダイヤモンドライクカーボン, 散乱, バルク欠陥, 暗視野顕微鏡

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抄録

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜はピンホールや空孔など様々なマイクロサイズの欠陥を含んでおり，それが膜の性能低下を引き起こす．本論文ではDLC膜に白色光を照射し，欠陥部分で散乱した光を暗視野顕微鏡で観察することで欠陥を検出する方法を考案した．さらに，DLC膜は光透過率に波長依存性があり，この性質を利用することにより検出された欠陥をDLC膜表面と内部に分離することを試みる．

責任著者(Corresponding author)

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