YAG高調波レーザによるSiCの微細穴加工特性の検討

漆畑 伸; 岡本 康寛; 岡田 晃; 中芝 伸一; 酒川 友一

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.815.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: L14

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.815.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

YAG高調波レーザによるSiCの微細穴加工特性の検討

*漆畑伸, 岡本康寛, 岡田晃, 中芝伸一, 酒川友一

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キーワード: YAG高調波レーザ, SiC, プラズマ, 微細穴加工

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抄録

SiCは次世代パワーデバイスの材料として期待されており，SiCの性能を活かすためには優れた加工技術が必要である．レーザ加工法は微細加工として有用ではあるが，レーザ光照射部に生ずるプラズマが加工特性に大きく影響する．そこで本報ではYAG高調波レーザによるプロセス特性の検討をレーザ光波長と加工雰囲気の観点から実験的に行い，プラズマの現象を含めて検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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