主催: 公益社団法人精密工学会
愛知工大 工学部 電気学科
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本研究室では浮上機構を用いた摩擦力制御に関する研究を行っている。浮上機構の浮上量は変位センサを用いて測定しているが、従来の変位センサでは測定範囲が限られる。そこで、浮上量を推定する方法として、静電容量による変位推定を提案する。浮上機構と動作基板間の静電容量Cを、RC直列回路を用いて検出することで推定する。本稿では浮上高さの変化に応じ、周波数を制御した時の浮上量推定について述べる。
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