精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: F02
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ナノ秒パルスファイバーレーザを用いたTCO膜の除去加工現象に関する検討
*横山 豪人岡本 康寛岡田 晃中芝 伸一酒川 友一
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抄録

透明導電膜は導電性を有しながら,可視光の領域で高い透過性を持ち合わせていることから広く普及が進んでいる.しかし,加工対象以外の薄膜に対してダメージを与えないこと,さらには透明導電膜の種類も異なるなど,様々なプロセスへ対応することが求められる.本研究では,透明導電膜として使用されているZnO膜等に対してスクライブ加工を行い,加工痕と除去工程の観察によって除去加工現象に関する検討を行った.

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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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